ប
ថ្នាំកូត | ភាពរឹង hv | មេគុណកកិត | ភាពធន់នឹងសំណឹក | ភាពធន់នឹងការពាក់ | សីតុណ្ហភាពសេវាកម្មអតិបរមា គ | ពណ៌ |
TiN (ទីតានីញ៉ូមនីទ្រីត) | ២២០០ | ០.៥ | ល្អ | ល្អឥតខ្ចោះ | ៥២៥ | មាស |
TiN-LT (សីតុណ្ហភាពទាប Titanium Nitride) | ២២០០ | ០.៥ | ល្អ | ល្អឥតខ្ចោះ | ៥២៥ | មាស |
TiCN (Titanium Carbonitride) | ៣០០០ | ០.៤ | យុត្តិធម៌ | ល្អឥតខ្ចោះ | ៤០០ | វីយ៉ូឡែត |
AlTiN (អាលុយមីញ៉ូម Titanium Nitride) | ៣៦០០ | ០.៦ | ល្អ | ល្អឥតខ្ចោះ | ៧៥០ | ខ្មៅ |
CrN (ក្រូមីញ៉ូមនីទ្រីត) | ២៤០០ | ០.៥ | ល្អឥតខ្ចោះ | ល្អ | ៧០០ | ប្រាក់/ប្រផេះ |
ZrN (Zirconium Nitride) | ២៥០០ | ០.៥ | ល្អ | ល្អឥតខ្ចោះ | ៦០០ | មាសស្រាល |
1. PVD Coating Chamber គឺជារចនាសម្ព័ន្ធប្រអប់នៃទ្វារខាងមុខដែលធ្វើពីដែកអ៊ីណុក
2. ការបញ្ជាក់នៃអង្គជំនុំជម្រះថ្នាំកូត និងទំហំអ័ក្សនៃការងារបំពេញតាមតម្រូវការទូទៅនៃតម្រូវការថ្នាំកូត
3. ប្រភព Arc គឺកម្រិតខ្ពស់ និងអាចទុកចិត្តបាន។
4. Sputter magnetron រាងស៊ីឡាំង ឬ planar គឺអាចរកបាន
5. ការគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិ ឬដោយដៃរបស់ PLC គឺអាចរកបាន
ដើម្បីដំណើរការម៉ាស៊ីនថ្នាំកូត PVD អ្នកនឹងត្រូវការ:
ទឹកត្រជាក់៖ សីតុណ្ហភាព 15-28 អង្សាសេ កម្រិតសំឡេងត្រជាក់៖ 5p-15p
ម៉ាស៊ីនបង្ហាប់: បរិមាណធុង: 0.5-2 / ម៉ែត្រគូប
អគ្គិសនី: មិនតិចជាង 80 ~ 150kva នេះបើយោងតាមបរិមាណនៃម៉ាស៊ីន PVD ។
សម្រាប់ការព្យាបាលផ្នែកដែក៖
1. ម៉ាស៊ីនបោកគក់ Ultrasonic
2. ម៉ាស៊ីនទឹកសុទ្ធ ឬ/បើទឹកស្អាត 1-2តោន/ម៉ោង
3. ផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម (ផលិតផល) ត្រូវតែស្អាត ស្ងួត
4. ប្រតិបត្តិករ: ដូចដែលបានរៀបរាប់ សមត្ថភាព: 1 - 2 operators
សម្រាប់ដំណើរការ៖
1. វត្ថុធាតុដើម៖ សម្ភារៈគោលដៅ
2. ឧស្ម័ន: A2, N2, O2, C2H2 ជាដើម។
3. ធុងហ្គាសទាំងអស់ត្រូវការសន្ទះកាត់បន្ថយសម្ពាធ និងបំពង់ឧស្ម័ន ឧបករណ៍ភ្ជាប់
4. បូមប្រេង និងអត្ថបទ និងផ្នែកផ្សេងទៀត បញ្ជីគ្រឿងបន្លាស់