កញ្ចក់អាលុយមីញ៉ូម Inline Magnetron Sputtering Line
លក្ខណៈពិសេសចម្បង
- កញ្ចក់អាលុយមីញ៉ូម Inline Magnetron Sputtering Line ជាធម្មតាភ្ជាប់មកជាមួយនូវបន្ទប់បូមធូលីជាច្រើន ដើម្បីបំពេញនូវស្រទាប់ខ្វះចន្លោះនៅលើសន្លឹកកញ្ចក់។
- លក្ខណៈពិសេសចម្បង:
- 1.Max.glass ទំហំថ្នាំកូត: 2440x3660mm ឬប្ដូរតាមបំណង
- 2. Multi-vacuum chamber and multi-sputtering chamber design is available
- 3. បន្ទាត់ត្រួតពិនិត្យម៉ាញេទិកផ្ដេកមានរចនាសម្ព័ន្ធចុងតែមួយនិងពីរជាន់;ការសម្អាតទ្វេដងកញ្ចក់ ការស្រោប ការរកឃើញ ការគូរគំនូរ ការសម្ងួត ការធ្វើឱ្យត្រជាក់អាចត្រូវបានបញ្ចប់ទាំងអស់ក្នុងពេលតែមួយ
- 4. បន្ទាត់ថ្នាំកូត sputtering ប្រើ PLC សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងដំណើរការទាំងមូល និងត្រូវបានបំពាក់ដោយអេក្រង់ពណ៌ដើម្បីបង្ហាញទិន្នន័យដំណើរការថ្នាំកូត
ស្រទាប់នៃថ្នាំកូត: ទីតានីញ៉ូម, Chrome, ដែកអ៊ីណុក, អាលុយមីញ៉ូម, ប្រាក់, ស្ពាន់ជាដើម។
- សមាសធាតុ៖ TiN, TiO2 ជាដើម។
- កម្រាស់ស្រទាប់: 5-100nm
- ការបញ្ជូន: 8-40% នៅរលក 380-780 nm
- សីតុណ្ហភាពនៃការធ្លាក់ចុះ: សីតុណ្ហភាពបន្ទប់
- សម្ពាធចុងក្រោយបន្ទាប់ពី 8 ម៉ោងបូមចុះក្រោម៖
- បន្ទប់ចាក់សោរចូល និងបន្ទប់ចាក់សោរសុញ្ញកាស៖ 5×10-1 Pa ឬខាងក្រោម
- Buffer Chamber 1 : 3×10-3 Pa ឬខាងក្រោម
- Sputtering Chamber: 2×10-3 Pa ឬខាងក្រោម
- Buffer Chamber 2 : 3×10-3 Pa ឬខាងក្រោម
- ចេញពីបន្ទប់ចាក់សោរ & បន្ទប់ចាក់សោរសុញ្ញកាស៖ 5×10-1 Pa ឬខាងក្រោម
សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង
